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碳化硅晶錠激光切片設備

本設備用于碳化硅晶錠/片的激光切片加工，激光加工完成后配合輔助的分片裝置，完成晶片切割后的分片。材料損耗小，加工效率高，設備運行無需耗材，加工成本低。

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TGV玻璃激光微孔設備

主要利用激光進行誘導不同材質0.1-1mm厚晶圓玻璃的微孔加工（TGV），可實現各種尺寸盲孔、圓錐（通）孔制備。

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碳化硅激光退火設備

本設備用于碳化硅的歐姆退火工藝，具備裸片自動上下料、晶圓自動校準等功能。加工工藝效果優異；加工效率高；設備運行無需耗材，加工成本較低。

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碳化硅晶圓激光切割設備

應用于航天航空、電力電子等行業微波器件，功率器件的晶圓片的切割（以碳化硅材料為基板的晶圓）

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玻璃晶圓激光切割設備

本設備是利用可見光或者紅外波段的激光對鍍膜玻璃，普通玻璃等透明材料進行隱形切割

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晶圓激光應力誘導切割設備

本設備是利用應力誘導切割技術對Mini LED 晶圓進行切割加工

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晶圓激光開槽設備

AS-5380利用高質量光束在晶圓切割道內進行表面刻線，劃槽加工

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AWM10全自動晶圓ID激光打標機

本設備是利用激光，針對晶圓ID進行打標以及切割晶圓notch的全自動化設備。

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